Химично фрезоване и ецване

Дефиниция на процеса и принцип на работа

Химичното фрезоване и ецване (познато в индустрията като химична обработка или Chemical Machining - CHM) е нетрадиционен производствен процес за отстраняване на излишен материал чрез контролирано химично разтваряне (разеждане) от определени зони на детайла. Тези зони се дефинират чрез селективно нанасяне на киселинно- или алкално-устойчиви маски (полимерни масканти или фоточувствителни резисти). За разлика от конвенционалните методи за механична обработка, при които материалът се отстранява чрез срязване и стружкоотделяне под въздействието на режещ инструмент, при химичната обработка материалът се отстранява на атомно ниво чрез окислително-редукционни химични реакции.

Физико-химичният принцип на процеса се базира на преноса на маса и дифузията в граничния слой, намиращ се между металната повърхност и течния ецващ агент (etchant). Този процес се описва математически чрез Първия закон на дифузията на Фик (Fick's First Law):

$$J=-D\frac{\partial C}{\partial x}$$

Където: